加工技術&応用

Processing Technique & Applications

加工技術及其应用

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ドラムレンズ

Drum Flyeeye Lens
鼓型蜂眼透镜


露光機は、PCB業界にも広く応用されている。だが、深紫外型等の露光機に対しは、平行光発想の設計元祖タイプのドラムレンズをよく使用される。ドラム式の単体レンズは、長くて、両端面は球面となり、透過偏芯は極めて重要である。製造方法は基本的にフリット法であるが、弊社では、単体レンズを特別な制作法により、接合隙間を極めて狭く、μmレベルの高精度の技術がある。

Drum flyeye lens-arrays are also be made by Glass-frit fusion method. But specical processing is necessary to keep their HIGH ECCENTRICITY for elenments lens.

鼓性蜂眼透镜的制作方法原理上与一般普通蜂眼透镜相同。不过,由于鼓型蜂眼的单体,具有中心厚度极厚的特点,要保证该单体透镜的秒级的透过偏芯(不是反射偏芯)是非常困难的。Akatsuki Tech应用特殊的加工方法,成功保证高精度偏芯的技术指标要求。

フライアイ(レンズアレ-)

Lens-array (also called Flyeye lens)
蜂眼透镜(也称整列透镜)技术


露光機等に対し、点光源の光を均一にするため、フライアイレンズ(レンズアレ-にも呼ぶ)は平行光変換用に不可欠である。一方向の光学特性しか要しなく、接合強度も重要視する場合、低融点ガラス法で、ガラス同士を高温融着する。均一な照射強度を大きく影響する要素は単レンズ間の接合隙間の幅と平行性である。弊社では特別な製造方法により、接合隙間を極く狭く、μmレベルの高精度である。ARコ-トの耐温400°以上

Glass-frit fusion method can be applied to make Lens-arrays (also called Flyeye Lens). With this method, Lens-Arrays or spectometry cell can be produced. AR coating to asist-temperature as high as above 400 degree.

低熔点玻璃粘合技术主要用于对胶合面没有光学性能要求,但高粘合强度以及高使用温度要求严格部件使用。使用温度可以根据工艺条件的选择,达到600-900度等。曝光机行业中广泛使用的蜂眼透镜(也称整列透镜)以及生化分析中的低档比色皿等,就是利用此类粘合技术加工的。不过,由于除了机械性的强度以及温度要求外,还需要严密的光学要求,所以粘合层的厚度,均匀性等非常重要。我司通过特殊工艺,将粘合层厚度控制在数微米级。可根据客户要求,实施耐高温400度以上的AR增透膜。