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超高真空UHVセル

光学超高真空腔UHV
Optical Bonding Ultra-High Vacuum Cell


应用光学键合(光胶)技术,可以制作出各种高性能超高真空腔UHV。本有制作2~400毫米腔体,丰富经验。材料可以根据用途选择光学藍宝石、超純度石英、PYREX 等。漏气率: ~10^(-11) PaM3/Sec,最高真空度达到10^(-9) Pa。在使用键合工艺条件下,可以实施内外表面的AR等各类光学镀膜。

By Optical Bonding (optical contact) method, ultra-high vacuum(UHV) cell as high as 10^(-9)Pa can be achieved. We are rich-experienced in 2x2x2~80x80x400mm UHV cells. Pyrex, Quartz (fused silica) etc can be used according to application.

オプティカルボンディング法を用いた超高真空UHVセルは実績が多く、主に2x2x2~80x80x400mm。絶対真空度は10^(-9)Paに達する。材質は使用要求によりPyrex、石英等を選択できる。